激光切割机铝横梁陆芯晶圆切割机：从磨砂

陆芯硅片烘干机：从拉丝处置到晶片问世

硅片烘干也叫统筹安排，是将硅片历经拉丝处置后，烘干成无数个原则上的晶片，为先期成品做预备的操作过程。

硅片烘干机具体来说要展开拉丝成品，除去在后端工艺技术中受生物化学环境污染的部份，增加硅片宽度；在展开拉丝处置以后，需将UV小刀全面覆盖在硅片反面，这种能防止硅片在烘干操作过程中受受损；UV小刀黏着性高，能防止硅片开裂，后用电浆卡盘桌粘住，烘干硅片的左上角使其变厚。

在拉丝处置后，竭尽全力在硅片左上角贴上UV小刀，将其一般来说于辐花的门边后，用表层贴有钛的便携方形小刀，沿著硅片上的截叶四海烘干。虽然烘干是透过烘干展开的，会造成大批的微小灰尘，因而在烘干操作过程中要急速用DI水（Deionized water，纯水）洗涤，以防环境污染孔隙。接着在UV小刀左上角反射紫外光，虽然光生物化学反应，其黏着性会增加，进而很难将晶片从小刀连上留下来。

最终，在电子显微镜下对两个两个晶片展开外形检验，把有缺陷、受损、环境污染的晶片出局，甄选出达至国际标准的晶片就能展开说行成品了。